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NTIS 바로가기The extreme high vacuum (XHV) system is highly required recently as the technology of semiconductor manufacturing is developed and as the needs of extreme processing conditions such as high vacuum and ultra high vacuum is increased. However, it is limited to achieve the extreme high vacuum only with...
저자 | 편승철 |
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학위수여기관 | 대전대학교 대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 신소재공학과 |
발행연도 | 2010 |
총페이지 | 73 p. |
키워드 | 탈기체 (outgassing) TDS(Thermal Desorption Spectroscopy) |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T11999724&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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