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적외선램프가열에 의한 진공재료의 탈기체 측정장치(TDS) 개발 연구 원문보기

한국진공학회 2009년도 제37회 하계학술대회 초록집, 2009 Aug. 19, 2009년, pp.304 - 304  

편승철 (한국표준과학연구원 진공센터) ,  성대진 (한국표준과학연구원 진공센터) ,  임인태 (한국표준과학연구원 진공센터) ,  김정형 (한국표준과학연구원 진공센터) ,  유신재 (한국표준과학연구원 진공센터) ,  신용현 (한국표준과학연구원 진공센터) ,  신재수 (대전대학교 신소재공학과)

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문제 정의

  • 이러한 연구의 목적으로서 TDS(Thermal Desorption Spectroscopy) 측정 장치로 재료에서 탈리되는 기체의 스펙트럼을 분석하는 기술이 많이 사용되고 있다. 본 연구는 측정 sample의 크기나 가공에 제한을 받아 장착이 어려운 sample 측정을 위한 장치개발에 관한 것이다. 이 시스템은 비교적 큰 시료를 장착하기 위해 직경 100mm 석영튜브로 만들어졌고, 적외선램프가열을 위한 Thermal control program과 QMS(Quadrupole Mass Spectrometer), Ion gauge가 있어 온도상승에 따른 기체 종류별 outgassing과 압력 변화량을 측정할 수 있다.
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