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초대형 TFT-LCD 用 Bake Chamber의 구조해석 및 특성에 관한 연구
Study on the Structural Analysis and Characteristics of Large-Scale TFT-LCD Bake Chamber 원문보기


노광두 (호서대학교 일반대학원 기계공학과 국내석사)

초록
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디스플레이 산업은 우리나라의 1위 수출종목으로 다른 산업에 비해 부품소재․장비산업과 TV, 모니터, 노트북 산업 등의 규모도 크다. 또한, 기타산업에 파급효과가 큰 분야로서 그 범위를 계속 넓혀나가고 있다. 대형 LCD를 생산하기 위해선 장비의 대형화 또한 필수적이다. 장비가 대형화 될수록 구조적인 부분이나 형상 배치 등에 있어서 훨씬 복잡하게 되며, 장비에서 불량이 일어날 시, 그에 대한 피해는 전 세대에 비해 막대하다. 따라서 장비의 설계 및 제작에 있어서 고도의 기술이 요구되며 수많은 검증과 시험이 필요하다. 본 연구의 목표는 Bake Chamber의 구동 원리와 구조적 특성을 파악하여 구성을 이해하고 구조해석모델을 개발하여 이를 통한 구조적 특성 연구와, 성능 향상 및 예측을 수행한다. 그리고 실제 제작된 Bake Chamber의 성능시험을 수행하여 구조해석모델의 해석 결과와 실제 ...

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Display engineers and researchers want to mechanical characteristics of TFT-LCD Bake Chamber due to the number of expensive, time-consuming measurements, and the geometric complexity. The objectives of this study are to investigate mechanical characteristics of TFT-LCD Bake Chamber under the loading...

주제어

#TFT-LCD Bake Chamber 구조해석 

학위논문 정보

저자 노광두
학위수여기관 호서대학교 일반대학원
학위구분 국내석사
학과 기계공학과
발행연도 2010
총페이지 Ⅵ, 53 p.
키워드 TFT-LCD Bake Chamber 구조해석
언어 kor
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T12016962&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원
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