초록 ▼

용어보기논문에서 용어와 풀이말을 자동 추출한 결과로, 시범 서비스 중입니다. AI-Helper

본 논문에서는 스테이지의 위치정밀도 오차에 대하여 이미지 보간법을 활용한 서브픽셀 알고리즘과 셀프 캘리브레이션을 이용한 광학시스템을 사용하여 표준 시편을 이용 광학기의 영상에 담아 절대 좌표 위치를 측정할 수 있는 방법을 제시하고, 광학기의 영상만으로 ...

본 논문에서는 스테이지의 위치정밀도 오차에 대하여 이미지 보간법을 활용한 서브픽셀 알고리즘과 셀프 캘리브레이션을 이용한 광학시스템을 사용하여 표준 시편을 이용 광학기의 영상에 담아 절대 좌표 위치를 측정할 수 있는 방법을 제시하고, 광학기의 영상만으로 나노미터 단위의 초정밀 위치측정기술을 실현하고 분석하고자 하였다. 또한 적용된 카메라 광학 측정 장치의 측정 신뢰성을 검증하기 위하여 기존의 정밀 측정 방법인 레이저 간섭계와의 비교측정을 시행하였다. 광학기의 영상을 응용하여 실시간 작업 오차를 측정 할 수 있는 방법을 제안하였고, 이를 이용하여 스테이지의 위치 정밀도에 대한 오차요인을 제작된 정밀한 스테이지를 이용하여 위치정밀도 오차를 측정할 수 있었다. 측정 데이터를 바탕으로 실시간으로 오차를 줄일 수 있는 실시간 보상법을 제안하고, 정밀 공정 및 측정 장비 운용 시 오차를 1㎛ 이내로 최소화하는 방법을 연구하여 기존 작업 시 측정과 보정에 많은 시간을 할애해왔던 문제점을 보완한 새로운 알고리즘을 제안하고, 시뮬레이션과 실험을 통해 성능을 검증하고자 하였다. 실시간으로 오차를 측정한 후 보정을 실시한 결과 X축 1㎛, Y축 1.2㎛의 위치 정확도를 얻을 수 있었다. 결과적으로 스테이지의 광학 시스템을 이용함으로서 실시간으로 온도에 대한 오차 측정 및 보정을 할 수 있음을 확인하였다.

Abstract ▼ AI-Helper

This paper suggests method to measure that error of the precision stage is used precision process and easurement equipment by using camera optics. The laser interferometer is the most widely used sensing unit to measure the position accuracy error. It measures the positioning error from the displace...

This paper suggests method to measure that error of the precision stage is used precision process and easurement equipment by using camera optics. The laser interferometer is the most widely used sensing unit to measure the position accuracy error. It measures the positioning error from the displacement of a moving reflector in terms of the wave length. But, the wave length as affected by the ariation of atmospheric temperature. Temperature variation of 1℃ results in the measuring error of 1ppm. Though laser interferometer measures position error of stage when precision stage is manufactured by us or it is used to measure stage for the nonce as a general rule, optics tooling position measurement method to suggest is possible to apply in real-time and trace an error range continually. Therefore it is able to improve capabilities of equipment by compensating an error range when operates precision process and measurement equipment in real-time. From the experiment, it is confirmed that the measuring error of the optical device can be improved from 5.8㎛ to 1㎛ by the application of the method.

주제어