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NTIS 바로가기Nanosized ceria slurries are investigated by the control of physicochemical properties of ceria nanoparticle and adsorption behavior of polymeric molecules to prevent scratches on wafer surfaces and achieve the high removal selectivity below 50 nm technology. The adsorption density of anionic molecu...
저자 | 김예환 |
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학위수여기관 | 한양대학교 대학원 |
학위구분 | 국내박사 |
학과 | 신소재공학과 |
발행연도 | 2011 |
총페이지 | 158 p. |
키워드 | 재료공학 |
언어 | eng |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T12336139&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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