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정전기 제거장치의 성능평가방법 개발
Development of performance evaluation method for ionizer 원문보기


전지훈 (한양대학교 산업경영디자인대학원 산업경영공학전공 국내석사)

초록 ▼
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FPD(Flat Panel Display) 및 반도체 제조공정에 다양하게 사용하는 정전기 제거장치 성능평가에서 표준시험 방법은 설치 위치를 고정하여 측정하였다. 그러나 제조 공정이 다양하여 설치위치 변경에 따른 측정 값 활용에 대한 문제점이 야기되었다. 본 연구에서는 다양한 제조 공정에 적용할 수 있는 정전기 제거장치 성능평가 방법을 개발하기 위하여 청정부스 제작, 이오나이저 이송장치 개발, 측정 소프트웨어 개발, 측정 데이터 정규성 검증, 측정 데이터 활용법 제시를 목적으로 연구를 진행하였다. 표준에서 제시한 측정 높이 450 ㎜에서 이오나이저 성능을 평가했을 때 측정 데이터 회귀직선식을 적용할 수 없었지만, 표준시험 방법 이외에 측정 높이 600, 750, 900, 1 050 ㎜를 추가로 측정하여 회귀직선식을 적용할 수 있었다. 이 통계적 ...

주제어

#생산관리 

학위논문 정보

저자 전지훈
학위수여기관 한양대학교 산업경영디자인대학원
학위구분 국내석사
학과 산업경영공학전공
지도교수 안선응
발행연도 2011
총페이지 v, 60 p.
키워드 생산관리
언어 kor
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T12507991&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원

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