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NTIS 바로가기게이트 유전층(gate dielectric layer)은 전계 효과 트랜지스터(field effect transistor, FET)에서 전달자(carrier)를 유도(accumulation)하기 위해 전계 효과를 조절하는데 있어서 중요한 역할을 하는 것으로 여겨져 왔다. 일반적으로 전계 효과 트랜지스터에서는 고체성 유전 물질이 유전층으로 사용되지만, 층 두께의 감소에 따른 ...
저자 | 한만중 |
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학위수여기관 | 高麗大學校 大學院 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 마이크로/나노시스템협동과정 |
지도교수 | 金奎兌 |
발행연도 | 2012 |
총페이지 | viii, 41장 |
키워드 | 산화아연 전계 효과 트랜지스터 전기 이중층 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T12707399&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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