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NTIS 바로가기그래핀 트랜지스터를 제작하기 위해서는 성장된 그래핀 시트를 원하는 기판위에 옮기는 전사공정, 패턴 하는 포토리소그래피 공정 그리고 소스 전극 및 드레인 전극을 패턴 하기 위한 금속 증착 하는 방법 등이 사용된다. 이러한 공정들은 소자 제작단가를 높이는 주요 요인이 되기 때문에 공정 방법의 개선이 필요하다. 본 논문에서는 이를 개선하기 위해서 그래핀의 전기적인 특성과 ...
저자 | 엄대성 |
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학위수여기관 | 한양대학교 대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 전자컴퓨터통신공학과 |
지도교수 | 김태환 |
발행연도 | 2014 |
총페이지 | vi, 41 p. |
키워드 | 전자공학 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T13382723&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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