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NTIS 바로가기국 문 요 약 반도체 산업이 발전하면서 반도체 소자의 정상 작동 여부를 검사할 수 있는 장비가 중요하게 되었다. MEMS Probe는 금속 프로브와 반도체를 접촉시켜 전기적 신호로부터 소자의 결함을 찾아내는 부품이다. Ni-Pd는 프로브 물질로 연구되어 왔다. 본 연구에서는, 에틸렌디아민을 착화제로 사용하여 Ni-Pd 합금 전해도금의 기계적 특성에 관한 연구를 진행하였다. Ni-Pd 합금 전해도금은 ...
저자 | 조은상 |
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학위수여기관 | 한국산업기술대학교 일반대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 신소재공학과 |
지도교수 | 조진기 |
발행연도 | 2016 |
키워드 | Ni-Pd alloy Electroplating X-ray diffraction |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T13965631&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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