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NTIS 바로가기The line width of the semiconductor devices has become very narrow as devices, in particular, the capacity of memory devices has increased. For Si MOSFET which is one of the typical semiconductor devices, it has inevitably decreased in horizontal and vertical size. According to the trend of nano-siz...
저자 | 장연호 |
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학위수여기관 | 전북대학교 일반대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 기계설계학(기계설계학) |
지도교수 | 임익태 |
발행연도 | 2017 |
총페이지 | vii, 37 p |
키워드 | Planetary type reactor Chemical Vapor Deposition Si epitaxy Multiple wafer Computational Fluid Dynamics |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T14440003&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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