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NTIS 바로가기현재 OLED 패널 디스플레이의 개발, 생산이 이루어지고 있고 반도체 제조에는 많은 공정이 발생하며 이 공정은 생산성에 많은 영향을 준다. 반도체 제조 공정에서 특히 세정 기술은 약 30%의 생산 효율성에 영향을 주는 공정으로써, 세정 공정에서 큰 스케일의 유리판과 유리의 표면이 균일한 세정이 세척 공정에서 큰 부분을 차지하며 이 부분을 달성하는 것이 세정 공정에서의 궁극적인 목표라고 할 수 있다. 그러므로 불량을 줄이고 비용을 절감하기 위해서는 세정기의 새로운 메커니즘과 기술이 필요하다. 따라서 본 논문에서는 Venturi 효과를 이용하여 Panel Display M-Jet(혼합형 ...
저자 | 이호현 |
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학위수여기관 | 금오공과대학교 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 기계공학과 |
지도교수 | 최성대 |
발행연도 | 2017 |
총페이지 | ii, 33p. |
키워드 | M-jet OLED Cleaner |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T14574128&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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