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광삼각법을 이용한 임계치수 측정 시스템 설계
Design of an Optical Triangulation Device for Critical Dimension Measurement 원문보기


류두현 (한국기술교육대학교 대학원 메카트로닉스공학과 메카트로닉스공학전공 국내석사)

초록
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광삼각법은 기하광학에 근거한 삼각변위 측정법이다. 비접촉식 형상 측 정 방법 중 그 원리가 간단하고 구현하는 것이 쉬워 많이 이용되고 있다. 본 논문에서는 광삼각법을 이용하여 측정 목표에 맞게 비접촉 측정 시스 템을 설계하는 것에 관하여 고찰하였다. 측정 시스템은 별다른 복잡한 구성없이 일반적인 CCD 카메라와 저가 형 라인레이저를 일정한 각도로 고정하는 것...

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Optical triangulation is a triangular displacement measurement based on geometrical optics. Among the non-contact shape measurement methods, its principle is simple and it is easy to implement. In this paper, we discuss a homemade design of optical triangulation device. The manufactured measurement ...

주제어

#광삼각법 형상 측정 라인 레이저 CCD 카메라 영상처리 Optical triangulation Shape measurement line laser CCD image processing 

학위논문 정보

저자 류두현
학위수여기관 한국기술교육대학교 대학원
학위구분 국내석사
학과 메카트로닉스공학과 메카트로닉스공학전공
지도교수 김병기
발행연도 2017
총페이지 51
키워드 광삼각법 형상 측정 라인 레이저 CCD 카메라 영상처리 Optical triangulation Shape measurement line laser CCD image processing
언어 kor
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T14641977&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원
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