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본 논문은 반도체 FAB의 Q-time 관리를 위한 스케쥴링 알고리듬을 제안한다. 반도체 공정은 웨이퍼의 생산을 담당하는 FAB과 생산된 웨이퍼의 테스트와 조립을 담당하는 Back-end 로 구성되어있다. 수 십 년 동안 반도체 FAB에서 문제가 되고 있는 것 중 하나는 Q-time 문제이다. Q-time 이란 화학 약품 처리 된 제품이 다음 공정에 도착해야 하는 시간을 의미한다. 만약 제품이 다음 공정에 도착하는데 걸리는 시간이 Q-time을 초과하게 될 경우 제품의 품질하락에 영향을 끼칠 수 있다. 그렇기 때문에 현업에서는 Q-time을 관리하여 제품 경쟁력을 유지하고자 노력하고 있다. Q-time을 초과하는 원인은 크게 1) 계측/검사 공정, 2) 작업자의 Manual 투입, 3) Batch 구성으로 인한 Over 가 있다.
이러한 원인들로 인하여 Q-time을 초과하는 제품을 감소시키기 위하여 본 논문에서는 'Estimated ...
저자 | 정영현 |
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학위수여기관 | 아주대학교 일반대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 산업공학과 |
지도교수 | 박상철 |
발행연도 | 2018 |
총페이지 | 36 p. |
키워드 | Semiconductor FAB Q-time Scheduling |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T14724099&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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