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최근 표면 거칠기 측정기는 제품의 품질향상을 위해 사용이 점차 늘어나고 있다. 그중에도 웨이퍼 같은 초정밀면과 연질재료의 표면 거칠기 측정을 위해 비접촉식 표면 거칠기 측정기의 필요성이 증가하고 있다. 하지만, 비접촉식 표면 거칠기 측정기가 정밀한 측정을 하는 장비임에도 교정방법 및 측정불확도 분석 방법이 정립화되지 않았다.
따라서, 본 연구에서는 비접촉 표면 거칠기 측정기를 이용한 교정방법을 제시하고, 측정불확도 분석 방법을 개발하고자 하였다.
먼저, 소급성 유지를 위해 표면 거칠기 시편에 대한 교정을 실시하였고, 장비가 가지고 있는 ...
저자 | 박수윤 |
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학위수여기관 | 아주대학교 공학대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 기계공학과 |
지도교수 | 홍민성 |
발행연도 | 2018 |
총페이지 | 43p. |
키워드 | 표면 거칠기 측정불확도 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T14724122&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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