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NTIS 바로가기기존 에어로졸 데포지션 법으로 만들어진 코팅막의 기공과 조도, 접착력, 코팅 경도의 내플라즈마 특성을 비교하고 이를 위하여 각각의 코팅 박막 특성과 미세 구조를 확인하였다. 또한 각각의 코팅막이 내플라즈마 특성에 차이가 나는 원인을 파악하고 에어로졸 데포지션 법으로 코팅막에 미치는 영향을 분석하였다. 그리고 코팅층을 생성하여 미세조직의 특성을 평가하고 반도체 장비 부품 코팅에 적합 가능한 최적의 코팅을 평가하였다....
저자 | 박수석 |
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학위수여기관 | 호서대학교 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 기술경영학과 프로세스기술혁신전공 |
지도교수 | 정희운 |
발행연도 | 2018 |
총페이지 | 61장 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T14726637&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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