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본 논문에서는, 유도 결합 플라즈마 발생 장치에서 E – H 모드 전이 과정에서 일어나는 전류 감소와, 그 전류 감소를 고려했을 때의 히스테리시스 발생에 대한 연구를 하였다.
유도 결합 플라즈마에서 정전기장으로 전력이 전달되는 E 모드에서 안테나 코일의 유도 자기장에 의해 생성된 유도 전기장으로 전력이 전달되는 H 모드로 전이 될 때, ...
저자 | 문준현 |
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학위수여기관 | 한양대학교 대학원 |
학위구분 | 국내박사 |
학과 | 전기공학과 |
지도교수 | 정진욱 |
발행연도 | 2020 |
총페이지 | vi, 103p. |
키워드 | 전기공학 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T15483411&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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