지구온난화와 기후변화 급격한 산업화로 인한 이산화탄소 발생량 증가는 지구 온난화 현상을 가중시켰으며, 이러한 기후변화는 해수면의 상승과 국지성 폭우 및 폭설 등의 기상이변을 가져와 육상 및 해양 생태계의 변화 및 인류 건강에 직·간접적인 영향을 끼칠 것으로 예상 된다. 기후변화의 실질적인 위험에 대응하고자 2015년부터는 저탄소 녹색성장법에 의해 배출권 거래제가 시행되었다. 이에 해당 사업장(3년 평균 15만tCO2-eq 이상 배출사업장)은 정부로 부터 할당된 온실가스에 대해 감축활동을 통해 배출량은 최소화하고 할당량은 최대화해야 한다. 본 연구과제는 한 비메모리반도체 사업장의 온실가스 감축기술의 개발현황 및 감축실적을 통해 정부가 인정하는 온실가스 배출 감축사업(KVER: Korea Voluntary Emission Reduction) 등록기준에 적합여부를 실제 검증하고자 하였다. 연구 대상 사업장에서는 첫 번째 PFCs 처리기술 도입사업은 반도체 주요공정인 ...
지구온난화와 기후변화 급격한 산업화로 인한 이산화탄소 발생량 증가는 지구 온난화 현상을 가중시켰으며, 이러한 기후변화는 해수면의 상승과 국지성 폭우 및 폭설 등의 기상이변을 가져와 육상 및 해양 생태계의 변화 및 인류 건강에 직·간접적인 영향을 끼칠 것으로 예상 된다. 기후변화의 실질적인 위험에 대응하고자 2015년부터는 저탄소 녹색성장법에 의해 배출권 거래제가 시행되었다. 이에 해당 사업장(3년 평균 15만tCO2-eq 이상 배출사업장)은 정부로 부터 할당된 온실가스에 대해 감축활동을 통해 배출량은 최소화하고 할당량은 최대화해야 한다. 본 연구과제는 한 비메모리반도체 사업장의 온실가스 감축기술의 개발현황 및 감축실적을 통해 정부가 인정하는 온실가스 배출 감축사업(KVER: Korea Voluntary Emission Reduction) 등록기준에 적합여부를 실제 검증하고자 하였다. 연구 대상 사업장에서는 첫 번째 PFCs 처리기술 도입사업은 반도체 주요공정인 식각 및 증착 공정장비에 사용되는 온실가스(C2F6, CF4)의 처리성능을 갖춘 저감설비(플라즈마 스크러버) 총 12기를 설치하여 운영하였고 90%이상 처리효율을 확인하였다. 두 번째 PFCs 가스 대체사업은 식각공정에서 세정가스로 사용되는 C2F6를 상대적으로 지구온난화지수(GWP)가 낮은 C3F8을 발굴하여 공정 적합성 평가 및 판정을 통해 대체하는 기술을 개발적용하였으며, 세 번째 폐열회수사업으로 인근 광역소각시설로부터 버려지던 폐열 스팀을 공급받아 기존 보일러에 사용되는 액화천연가스(LNG: Liquefied Natural Gas)의 연료대체 사용하여 33천톤tCO2eq 감축이 예상된다. 위에 3가지 감축사업은 모두 정부에서 인정하는 방법론(CDM AM0096, CDM AM0111, CDM AM0092, 외부사업03A-001-ver01)과 부합여부를 비교해 보았을 때 세부적인 근거 자료의 부족과 일부 방법론의 불일치로 감축사업으로 인정받을 수 없음을 확인하였다, 다만 매년 정부로부터 배출 명세표를 제출하고 있어, 이러한 자료를 좀 감축활동의 근거자료로 활용 될 필요가 있다.
지구온난화와 기후변화 급격한 산업화로 인한 이산화탄소 발생량 증가는 지구 온난화 현상을 가중시켰으며, 이러한 기후변화는 해수면의 상승과 국지성 폭우 및 폭설 등의 기상이변을 가져와 육상 및 해양 생태계의 변화 및 인류 건강에 직·간접적인 영향을 끼칠 것으로 예상 된다. 기후변화의 실질적인 위험에 대응하고자 2015년부터는 저탄소 녹색성장법에 의해 배출권 거래제가 시행되었다. 이에 해당 사업장(3년 평균 15만tCO2-eq 이상 배출사업장)은 정부로 부터 할당된 온실가스에 대해 감축활동을 통해 배출량은 최소화하고 할당량은 최대화해야 한다. 본 연구과제는 한 비메모리반도체 사업장의 온실가스 감축기술의 개발현황 및 감축실적을 통해 정부가 인정하는 온실가스 배출 감축사업(KVER: Korea Voluntary Emission Reduction) 등록기준에 적합여부를 실제 검증하고자 하였다. 연구 대상 사업장에서는 첫 번째 PFCs 처리기술 도입사업은 반도체 주요공정인 식각 및 증착 공정장비에 사용되는 온실가스(C2F6, CF4)의 처리성능을 갖춘 저감설비(플라즈마 스크러버) 총 12기를 설치하여 운영하였고 90%이상 처리효율을 확인하였다. 두 번째 PFCs 가스 대체사업은 식각공정에서 세정가스로 사용되는 C2F6를 상대적으로 지구온난화지수(GWP)가 낮은 C3F8을 발굴하여 공정 적합성 평가 및 판정을 통해 대체하는 기술을 개발적용하였으며, 세 번째 폐열회수사업으로 인근 광역소각시설로부터 버려지던 폐열 스팀을 공급받아 기존 보일러에 사용되는 액화천연가스(LNG: Liquefied Natural Gas)의 연료대체 사용하여 33천톤tCO2eq 감축이 예상된다. 위에 3가지 감축사업은 모두 정부에서 인정하는 방법론(CDM AM0096, CDM AM0111, CDM AM0092, 외부사업03A-001-ver01)과 부합여부를 비교해 보았을 때 세부적인 근거 자료의 부족과 일부 방법론의 불일치로 감축사업으로 인정받을 수 없음을 확인하였다, 다만 매년 정부로부터 배출 명세표를 제출하고 있어, 이러한 자료를 좀 감축활동의 근거자료로 활용 될 필요가 있다.
Carbon dioxide has been increased with global warming by the climate change & industrialization. Moreover, this climate change which bring rising sea levels, torrential rain, heavy snow is going to disrupt ecology, health and welfare of mankind on a multifaceted angles. For that reason, emission tra...
Carbon dioxide has been increased with global warming by the climate change & industrialization. Moreover, this climate change which bring rising sea levels, torrential rain, heavy snow is going to disrupt ecology, health and welfare of mankind on a multifaceted angles. For that reason, emission trading was started in line with Low Carbon Green Growth Law to deal with climate change. According to government's policy, companies that are subject to the emission trading should make effort to minimize emission and maximize quota. This study focuses on verification of conformance on registered standard through KVER(Korea Voluntary Emission Reduction) that was acknowledged with technology and result for reduction in the non-semiconductor industry. First of all, introduction of Abatement System was run by twelve reduction facilities (plasma scrubber) which can remove greenhouse gases(C2F6,CF4) with over 90% efficiency for chemical vapor deposition. Second, Alternative business for PFCs gas apply technology that substitutes C2F6 for cleaning in the process of ETCH with C3F8 for lower GWP through conformity assessment or judgment. Third, Unused steam in external incinerators replaced boiler fuel LNG. Those three activities were not able to get recognized by the government because of lack of evidence and nonconformity with some methodology compare to acknowledged methodology from the government. However, since company hand in emission specification tables to the government every year, these data need to be used for the reduction project.
Carbon dioxide has been increased with global warming by the climate change & industrialization. Moreover, this climate change which bring rising sea levels, torrential rain, heavy snow is going to disrupt ecology, health and welfare of mankind on a multifaceted angles. For that reason, emission trading was started in line with Low Carbon Green Growth Law to deal with climate change. According to government's policy, companies that are subject to the emission trading should make effort to minimize emission and maximize quota. This study focuses on verification of conformance on registered standard through KVER(Korea Voluntary Emission Reduction) that was acknowledged with technology and result for reduction in the non-semiconductor industry. First of all, introduction of Abatement System was run by twelve reduction facilities (plasma scrubber) which can remove greenhouse gases(C2F6,CF4) with over 90% efficiency for chemical vapor deposition. Second, Alternative business for PFCs gas apply technology that substitutes C2F6 for cleaning in the process of ETCH with C3F8 for lower GWP through conformity assessment or judgment. Third, Unused steam in external incinerators replaced boiler fuel LNG. Those three activities were not able to get recognized by the government because of lack of evidence and nonconformity with some methodology compare to acknowledged methodology from the government. However, since company hand in emission specification tables to the government every year, these data need to be used for the reduction project.
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