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SiC 소재의 드릴 가공을 위한 다이아몬드 전착 공구의 설계 최적화에 관한 연구
A Study on the Design Optimization of Diamond Electro-deposition Tool for Drilling of SiC Materials 원문보기


최상준 (대구대학교 대학원 기계공학과 기계및자동차공학전공 국내박사)

초록
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빅데이터, 전기 자동차 등의 4차산업 시대의 도래함에 따라 고온에서 안정성이 보장되며 고성능인 반도체의 중요성이 커지고 있다. 그에 따라 반도체 부품 소재가 기존 실리콘, 세라믹에서 SiC로 소재변경이 일어났나 고경도 소재인 SiC의 가공에 많은 어려움이 발생한다. SiC 소재를 가공하기 위한 다이아몬드 전착 드릴은 다이아몬드 입자를 전기 도금을 통해 ...

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

With the advent of the fourth era of big data and electric vehicles, the importance of high-performance semiconductors is ensured at high temperatures. As a result, the material change of the semiconductor component material from the existing silicon and ceramics to the SiC has occurred, but there a...

주제어

#SiC 소재 다이아몬드 전착 공구 

학위논문 정보

저자 최상준
학위수여기관 대구대학교 대학원
학위구분 국내박사
학과 기계공학과 기계및자동차공학전공
지도교수 윤재웅
발행연도 2020
총페이지 vii, 105
키워드 SiC 소재 다이아몬드 전착 공구
언어 kor
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T15531776&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원
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