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[학위논문] 하프늄 기반의 고유전율 게이트 유전막의 계면 트랩에 대한 연구 원문보기


차재춘 (서울대학교 대학원 재료공학부 하이브리드재료전공 국내석사)

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Keyword

#깊은 준위 천이 분석법 계면 트랩 벌크 트랩 게이트 유전막 고유전율 하프늄 실리케이트 이산화 규소 산화물 

학위논문 정보

저자 차재춘
학위수여기관 서울대학교 대학원
학위구분 국내석사
학과 재료공학부 하이브리드재료전공
발행연도 2020
총페이지 ix, 66장
키워드 깊은 준위 천이 분석법 계면 트랩 벌크 트랩 게이트 유전막 고유전율 하프늄 실리케이트 이산화 규소 산화물
언어 kor
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T15552888&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원

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