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NTIS 바로가기주관연구기관 | 성균관대학교 SungKyunKwan University |
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연구책임자 | 노용한 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-06 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 교육과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국연구재단 |
등록번호 | TRKO201300018877 |
과제고유번호 | 1345153290 |
사업명 | 기본연구지원사업 |
DB 구축일자 | 2013-07-29 |
본 연구는 미래 정보통신 산업에서 기술혁신을 주도할 것으로 기대되는 산화물 반도체 박막소자의 개발 및 신뢰성 확보를 위한 연구결과이다. 세부적으로, (1) 산화물 반도체/high-k 유전체 계면특성 분석방법을 개발하였고, (2) 산화물 반도체 및 high-k 유전체 소재의 종류, 박막 성장방식 등이 계면특성에 미치는 영향을 체계적으로 분석하였으며 (3) 이를 통해, 최종적으로 고이동도 및 고신뢰성 산화물 반도체 박막소자를 개발하였다.
본 연구의 최종목표인 산화물 반도체/high-k 유전체 계면특성을 포함한 신뢰성 분석을 통해
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