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NTIS 바로가기한국재료학회지 = Korean journal of materials research, v.2 no.1, 1992년, pp.76 - 82
안용철 (삼성전자(주) 반도체부문) , 박인선 (삼성전자(주) 반도체부문) , 최지현 (삼성전자(주) 반도체부문) , 정우인 (삼성전자(주) 반도체부문) , 이정규 (삼성전자(주) 반도체부문) , 이종길 (삼성전자(주) 반도체부문)
Deposition of
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