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NTIS 바로가기한국재료학회지 = Korean journal of materials research, v.4 no.2, 1994년, pp.127 - 135
주병권 (KIST정보전자연구부) , 방준호 (한양대학교 금속공학과) , 이윤희 (KIST정보전자연구부) , 차균현 (고려대학교 전자공학과) , 오명환 (KIST정보전자연구부)
We investigated the bonding interfaces of directly-bonded Si-Si and
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