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NTIS 바로가기電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers, v.8 no.6, 1995년, pp.774 - 779
김창일 (안양대 전기공학과) , 김태형 (여주전문대학 전자과) , 장의구 (중앙대 전기공학과)
Process optimization experiments based on the Taguchi method were performed in order to set up the optimal process conditions for the contact oxide etching process module which was built in order to be attached to the cluster system of multi-processing purpose. In order to compare with Taguchi metho...
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