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MOVPE 성장방법으로 corrugated InP 기판위에 성장된 InGaAs/InGaAsP 다층박막의 구조연구
Sturctural Studies of InGaAs/InGaAsP Multi-quantum well Structure Grown on Corrugated InP by MOVPE 원문보기

한국재료학회지 = Korean journal of materials research, v.6 no.6, 1996년, pp.651 - 656  

남산 (고려대학교 공과대학 재료금속공학부) ,  장동훈 (한국전자통신 연구소 반도체 연구단) ,  서경수 (한국전자통신 연구소 반도체 연구단) ,  조경익 (한국전자통신 연구소 반도체 연구단)

초록
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InGaAs/InGaAsP 다층박막을 corrugation이 형성된 InP 기판위에 MOVPE 방법을 이용하여 성장 시킨 후 성장조건에 따른 corrugation 높이의 변화와 석출상에 대하여 투과전자현미경을 이용하여 시킨 후 성장조건에 따른 corrugation 높이의 변화와 석출상에 대하여 투과전자현미경을 이용하여 연구하였다. Corrugation이 형성된 InP 기판을 PH3 및 AsH3가스를 동시에 공급해 주었는데 AsH3 가스의 압력이 높으면(1.8x10-2torr)많은 양의 As를 포함한 In1-xAsxP(x=0.3)석출상이 격자결함과 더불어 형성되었다. 반면에 AsH3 가스의 압력이 낮을때는 (1.0x10-3torr) corrugation의 높이가 30nm이었고, 적은 양의 As를 포함한 In1-xAsxP(x<0.1)석출상이 격자결함이 없이 형성되었다.

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