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NTIS 바로가기電子工學會論文誌. Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics. D, v.35D no.7, 1998년, pp.79 - 87
장성수 (성균관대학교 전기 전자 및 컴퓨터 공학부) , 문성근 (성균관대학교 전기 전자 및 컴퓨터 공학부) , 노관종 (성균관대학교 전기 전자 및 컴퓨터 공학부) , 노용한 (성균관대학교 전기 전자 및 컴퓨터 공학부) , 이칠기 (성균관대학교 전기 전자 및 컴퓨터 공학부)
Nitrided oxides which have been investigated as alternative gate oxide for metal-oxide-semiconductor field effect devices were grown by two-step process using N
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