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NTIS 바로가기전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, v.11 no.10, 1998년, pp.833 - 841
박용욱 (KIST 박막연구센터) , 윤석진 (KIST 박막연구센터) , 최지원 (KIST 박막연구센터) , 김현재 (KIST 박막연구센터) , 정현진 (KIST 박막연구센터) , 박창엽 (연세대학교 전기공학과)
ZnO thin films on glass substrate were deposited by on RF mangetron reaction sputter with various grgon/oxygen gas ratios and sbustrate temperatures. Crystallinities, surface morphologies, chemical compositions, and electrical properties of the films were investigated by XRD, AFM, XPS, RBS, and elec...
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