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NTIS 바로가기韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, v.7 no.4, 1998년, pp.381 - 389
김영권 (광운대학교, 전자물리학과, 대전입자법 및 플라즈마 연구실) , 김영삼 (광운대학교, 전자물리학과, 대전입자법 및 플라즈마 연구실) , 조대근 (광운대학교, 전자물리학과, 대전입자법 및 플라즈마 연구실) , 최은하 (광운대학교, 전자 물리학과, 대전입자법 및 플라즈마 연구실) , 조광섭 (광운대학교, 전자물리학과, 대전입 자법 및 플라즈마 연구실)
The time variation of an ion current density has been analyzed based on the plasma particle dynamic model for the plasma immersion ion implantation. The implanted ion current density has its maximum value at a particular time after sheath formation, and decays. The influence of the particle collisio...
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