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NTIS 바로가기한국재료학회지 = Korean journal of materials research, v.9 no.7, 1999년, pp.688 - 694
손용운 (한국자원연구소 활용연구부) , 정인화 (한국자원연구소 활용연구부) , 이영기 (위덕대학교 반도체공학과)
Ti-6Al-4V-N films have been grown onto glass substrates by dc reactive magnetron sputtering from a Ti-6Al-4V-N alloy target at different nitrogen partial pressure, input powers and sputtering times. The influence of various sputtering conditions on structural properties of Ti-6Al-4V-N films was inve...
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