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NTIS 바로가기電子工學會論文誌. Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics. D, v.36D no.11, 1999년, pp.33 - 44
이동훈 (仁荷大學校 電子電氣컴퓨터工學部) , 김현준 (仁荷大學校 電子電氣컴퓨터工學部) , 이승걸 (仁荷大學校 電子電氣컴퓨터工學部) , 이종웅 (淸州大學校 光學工學科)
The boundary element method was newly implemented into an optical lithography simulator so that it could evaluate rigorously the topological effects of 2dimensional phase-shifting masks. Both transparent and periodic boundary conditions were applied for the method, and the continuity conditions wer...
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