$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

[한국특허] 크롬리스 위상변이마스크의 제조방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC9판)
  • H01L-021/027
출원번호 10-2010-0115858 (2010-11-19)
공개번호 10-2012-0054467 (2012-05-30)
DOI http://doi.org/10.8080/1020100115858
발명자 / 주소
  • 강영민 / 부산광역시 기장군 기장읍 차성로***번길 **, 문화그린아파트 *동 ****호
출원인 / 주소
  • 엘지디스플레이 주식회사 / 서울특별시 영등포구 여의대로 ***(여의도동)
대리인 / 주소
  • 특허법인로얄
심사진행상태 취하(심사미청구)
법적상태 취하

초록

본 발명의 실시예는, 크롬리스 위상변이마스크의 제조방법에 있어서, 기판 상에 차광영역들과 투광영역들을 포함하는 위상 반전패턴을 형성하는 단계를 포함하되, 위상 반전패턴을 형성하는 단계는, 차광영역들에 대해 0, 5, 10 nm 중 하나의 네거티브 스페이스 바이어스를 적용하여 차광영역들의 선폭을 좁히고, 투광영역들의 선폭을 넓히는 것을 특징으로 하는 크롬리스 위상변이마스크의 제조방법을 제공한다.

대표청구항

크롬리스 위상변이마스크의 제조방법에 있어서,기판 상에 차광영역들과 투광영역들을 포함하는 위상 반전패턴을 형성하는 단계를 포함하되,상기 위상 반전패턴을 형성하는 단계는,상기 차광영역들에 대해 0, 5, 10 nm 중 하나의 네거티브 스페이스 바이어스를 적용하여 상기 차광영역들의 선폭을 좁히고, 상기 투광영역들의 선폭을 넓히는 것을 특징으로 하는 크롬리스 위상변이마스크의 제조방법.

발명자의 다른 특허 :

관련 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로