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문제 정의
- 죽분자 크기가 작은 压를 제외한 다른 가스들을 표면보호 충에서 물리적인 차단에 의해서 수소가스에 대한 선택성을 증가시켰다. 그러나 본 연구에서는 많은 기공을 포함하는 알루미나 표면 보호충을 증착함으로써 반응성이 높은 환원 성 CO 가스의 사전반응 (C0+1/202=C02)을 표면 보호 층에서 일어나도록 유도하여 검출 대상 가스인 CO를 감지막인 SnOz 막까지 도달하지 못하도록 하여 CO 가스에 대 한 감도 특성을 저하시키고, 반응성이 약한 CH4 가스는 보 호막을 그대로 통과시켜 SnO2 표면까지 도달하도록 하여 CH4 가스에 대한 선택성을 증가시키고자 하였다. 그림 2에서 보여진 것처럼, 표면 보호충을 중착함으로써 CO 가스에 대한 감도가 감소하는 것은 알루미나 표면 보호충에서 C。 가스가 반응하여 SnOz 박막에 도달하는 CO 가스가 줄어든 것으로 판단된다.
- 표면 보호충 재료로는 알루미나를 사용하였는데 그 이유는 CH, 가산소와 반옹하여 CO?와 HQ를 형성할 때 발생하는 HQ의 영향을 적게 받기 위해서였다. 따라서 표면 보호충이 SnO2 가스 센서의 감지 특성에 미치는 영향을 조사하였으며, 표면 보호충에 귀금속 Pt를 도핑하여 Pt의 함량이 가스선택성에 미치는 영향에 대해 조사하였다.
- 본 연구에서는 가스센서의 CH’ 가스의 선택성을 향상시키기 위하여 SnO2 감지막 위에 에어로졸화염 증착(Aero sol Flame Deposition) 법으로 표면 보호층을 증착하였다. 표면 보호충 재료로는 알루미나를 사용하였는데 그 이유는 CH, 가산소와 반옹하여 CO?와 HQ를 형성할 때 발생하는 HQ의 영향을 적게 받기 위해서였다.
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