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ELID 연삭에 의한 고경도 재료의 미소형상가공
Fabrication of Micro Shapes (or Advanced Materials by ELID Grinding 원문보기

한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.17 no.3 = no.108, 2000년, pp.122 - 128  

Qian, Jun ,  Ohmori, Hitoshi (거제대학교 기계과) ,  Kim, Gyung-Nyun (거제대학 기계과) ,  Jeong, Hae-Do (부산대학교 기계공학) ,  Kato, Teruko

초록
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세라믹, 다이야몬드등과 같은 고경질재료에 대한 미소형상의 가공은 대단히 어렵고 일반적인 방법으로는 상당한 시간을 요구한다. 이러한 재료의 고능률 가공을 실현하기 위하여, 메탈본드 다이야몬드휠에 전해 인프로세스 드레싱(Electrolytic In-Process Dressing)을 적용한 연삭을 머시닝센타에서 시도하였다 본 연구에서, 메탈본드 다이야몬드휠은 전기방전에 의하여 고능률로 트루잉(truing)되었다. 알루미나 세라믹의 핀선단($\phi$50$\mu\textrm{m}$)과 로커웰 경도측정기의 다이야몬드 압입자(indenter)($\phi$40$\mu\textrm{m}$)를 ELID연삭에 의하여 창성하였다. 그 결과를 본 논문에서 보고한다.

주제어

#ELID 전해인프로세스드레싱   #MEDT 연무식 방전 트루잉   #주철본드 다이아몬드 숫돌  

참고문헌 (14)

  1. Malkin, S., and Hwang, T.W., ' Grinding Mechanisms for Ceramics,' Annals of the CIRP, Vol. 45, No. 2, pp. 569-580, 1996 

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  2. Gahlin, R. et al., ' Micro-mechanical manufacturing of Abrasive Surfaces for Fundamental Studies on Wear and Grinding,' Wear, Vol. 217, pp. 231-236, 1998 

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  3. Raghunandan, M., Umehara, N., Noori-Khajavi, A., and Komanduri, R., 'Magnetic Float Polishing of Ceramics,' Journal of Manufacturing Science and Engineering, Transactions of the ASME, Vol. 119, pp. 520-528, 1997 

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  4. Hayashi, T., 'Progress and the Present State of the Technical Committee on Micro-mechanisms,' Journal of the Japan Society for Precision Engineering, Vol. 64, No. 6, pp. 825-829, 1998 

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  7. Ricciardi, G., Cantello, M., Mariotti, F., Castelli, P., and Giacosa, P., 'Micro-machining with Exicimer Laser,' Annals of the CIRP, Vol. 4, No. 1, pp. 145-148, 1998 

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  9. Ikeno, J., Masugi, Y., Hiriuchi, O., Kasai, T., and Kobayashi, A., 'Crack-free and 3-Dimensional YAG Laser Processing of Glass-ceramics', Journal of the Japan Society for Precision Engineering,' Vol. 64, No. 7, pp. 1062-1066, 1998 

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  12. Waida, T., and Okano, K., 'Micro-grinding of Micro Machine Component,' Journal of the Japan Society for Precision Engineering, Vol. 61, No. 10, pp. 1365-1368, 1995 

  13. Nagai, T., Hirata, A., and Yoshikawa, M., 'Preparation of Ceramic Micro Parts by Grinding,' Journal of the Japan Society for Precision Engineering, Vol. 63/6, pp. 884-888, 1997 

  14. Ohmori, H., and Nakagawa, T., 'Mirror Surface Grinding of Silicon wafers with Electrolytic Inprocess Dressing,' Annals of the CIRP, Vol. 39, No. 1, pp. 329-332, 1990 

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