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NTIS 바로가기한국산업안전학회지, v.15 no.4, 2000년, pp.62 - 68
김두현 (충북대학교 안전공학과) , 김상렬 (안동과학대학 산업보전과)
Static electricity in electronics manufacturing plants causes the economic loss, yet it is one of the least understood and least recognized effects haunting the industry today. Today's challenge in semiconductor devices is to achieve greater functional density pattern and to miniaturize electronic s...
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