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문제 정의
위와 같이 위상차가 없고, 50:1°] 된다는 의미는 Mat사ling Network입력 Impedance가 50 Ohm이라는 의미이다. 그러면 어떻게 위상과 크기를 조절하는가에 대하여 알아보자.
그러면 위와 같이 Mat아ling을 할 때 Smith Chart상에서는 어떻게 추적할 것인가에 대하여 알아보자. 그림 5를 보면 Mat, 산ling Network의 각각의 부품의 궤적도를 알 수 있다.
시간에 따라 인가전력의 크기를 변화하면서 어느 정도의 반자파가 발생되는 것인지를 알아보는 것이다. 그리고 ①〜④ 까지는 Cap위치에 따른 Matching Time을 나타낸 것이다.
이제 Impedance Matcher (Turner) 에 대하여 논할 것이다.
제안 방법
RF Power로부터 들어오는 RF의 Voltage 값과 Current값을 Checking하여 이 두신호를 비교한다. 즉 50 Ohm이 되려면 Voltage 파형과 Current 파형의 위상차가 “。。”이어야 하고, 그 크기의 비가 V : I = 50 : 1이 되도록 한다.
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