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NTIS 바로가기韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, v.11 no.4, 2002년, pp.249 - 255
조남인 (선문대학교 전자정보통신공학부) , 천인호 (선문대학교 전자정보통신공학부)
For a formation of membrane structures, single crystal silicon wafers have been anisotropically etched with solutions of KOH and KOH-IPA. The etching rate was observed to be strongly dependent upon the etchant temperature and concentration. Mask patterns for the etching experiment was aligned to inc...
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