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고분자 플라스틱 기판과 유리 기판위에 증착한 알류미늄 박막 특성 분석
Characteristic Analysis of Al Films Grown on Plastic Substrates and Glass Substrates 원문보기

電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. TE, 전문기술교육, v.39 no.2, 2002년, pp.6 - 10  

이명재 (慶熙大學校 電子工學科) ,  곽성관 (慶熙大學校 電子工學科) ,  김동식 (仁荷工業傳門大學 電子計算機果) ,  김장권 (大林大學 電子情報通信科)

초록
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플라스틱 기반 평판디스플레이 장치를 위한 Al 박막(1000-4000${\AA}$)을 직류-마그네트론 스퍼터링으로 유리 기판과 고분자 플라스틱 기판위에 증착하였다. 고분자 플라스틱 기판위에 증착된 Al박막의 전기적 특성을 향상시키고, 열 팽창을 줄이기 위하여 단계적 열 처리법을 사용하였다. 이러한 공정을 사용함으로써, 고분자 기판위에 증착된 박막의 크랙과 기판의 휨현상이 없는 Al 박막을 성공적으로 증착하였다. 또한, Al 박막의 열처리와 증착공정은 모두 200$^{\circ}C$ 이하에서 이루어 졌기 때문에, 이러한 저온 공정은 고분자 플라스틱 기판에 적용이 가능하다. Al 박막의 특성과 신뢰성을 조사하기 위하여 주사 전자 현미경(SEM), 원자력 현미경(AFM), X-선 회절 분석법(XRD)과 비저항등의 전기적 특성을 측정하였다.

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

Al films (1000~4000${\AA}$)were deposited on glass and polymer(polyethersulfine) plastic substrates by DC-magnetron sputtering for plastic-based flat-panel displays. A stepped heating process was used both to improve the electrical characteristics and to diminish the thermal expansion of ...

참고문헌 (12)

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