선택한 단어 수는 입니다.
최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
선택한 단어 수는 30입니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
문제 정의
- 13)은 현재 미 국과 일본에서만 최 근에 개발된 상태이고, 아직 성능 면에서 수정할 부분이 많으며, 관련된 연구결과도 아직 발표되지 않고 있다. 본 연구는 경도가 높아서 인조 사파이어로 불리는 질화 갈륨(GaN)계의 화합물 반도체를 소재로 한 웨이퍼의 다이싱을 위하여 고정된 다이아몬드 스크라이버에 웨이퍼를 가로와 세로 방향으로 이송시켜 스크라이빙하는 새로운 개념의 웨이퍼 다이싱을 위한 스크라이빙 머신과 스크라이빙에서 결정되어야 하는 최적의 파라메터를 얻는 것이 목적이다. 스크라이빙 머신에서 결정되어야 하는 파라메터에는 스크라이빙 깊이, 속도, 스크라이버의 기울어진 각도, 하중, 스크라이버의 교체 시기 판단 인자 등 많은 것들이 있다.
- 본 연구는 고정된 나이프(Knifb), 즉 스크라이버(Scriber)에 웨이퍼를 정밀 이송시켜 각 칩을 만들어내는 새로운 개념의 반도체 웨이퍼용 스크라이빙 머신 제작에 따른, GaAs 와 GaN 소재의 웨이퍼 스크라이빙에서 필요한 최적의 파라메터 - 스크라이빙 깊이, 스크라이빙 속도, 스크라이버의기울어진 각도, 스크라이버 하중 - 를 결정에 대한 것이다. 결과적으로 GaAs 웨이퍼는 스크라이빙 하중을 20g, 스크라이버 경사각도를 70° , 스크라이빙 속도를 200mm/s, 그리고 스크라이빙 깊이를 2 - 6㎛한 경우에 좋은 스크라이빙 결과를 얻을 수 있었고, GaN 웨이퍼의 경우에는 다른 파라메터는 GaAs 웨이퍼의 것과 같고, 스크라이빙깊이가 4 - 6网1, 스크라이빙 하중이 40 - 50g에서 좋은 결과를 얻을 수 있었다.
가설 설정
- 그리고 스크라이빙을 위한 Y축 이송속도는 1 ~400mm/sec 까지 조절이 가능하다. 또한 웨이퍼와 스크라이버의 정렬을 위한。 -테이블의 회전각도는 ±180° 이고, 분해능은 0.001° 이다. 스크라이버의 상하 이송을 위한 Z-테이블의 이동범위는 100mm이고, 분해능은 1㎛이다.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.