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문제 정의
- 따라서 본 연구에서는 초청정 클린룸시스템으 로 분류되는 AFT 시스템과 FFU 시스템에 대해서 전산유체역학 기법을 도입하여 2차원 유동특성을 해석하였다. 또한 구해진 기류분포 결과들을 이용하여 클린룸 기류분포 평가지표인 편향각 (deflection angle), 비균일도(nonuniformity), 환기 효율(ventilation effectiveness)을 기준으로 평가하였고 두 시스템에 대한 비교, 분석을 수행하였다.
- 본 연구에서는 두 종류의 초청정 클린룸에 대한 수치적인 유동특성 분석을 통하여 다음과 같은 결론을 얻을 수 있었다.
가설 설정
- 다만 팬과 필터가 유닛으로 구성되어 있어 리턴덕트 내에 축류팬이 존재하지 않기 때문에 하부 플레넘과 상부 플레넘에 소음기가 없는 점이 다르다. FFU 클린룸에서의 공기 순환용 팬은 FFU의 특성을 고려하여 ULPA 필 터와 동일한 위치에 설치되어 있는 것으로 가정 하였다.
- 01의 값을 사용하여 계산을 수행하였다. 본 연구에서는 AFT 시스템과 FFU 시스템에서 압력강하요소의 유무에 따른 유동특성변화를 평가하기 위하여 Fig.l 에서 보는 바와 같이 클린룸 패널 하단부에 압력 강하요소(댐퍼)가 설치되어 조정된 것으로 가정 하였다. 이때 댐퍼에 의한 압력강하량의 처리도 식(5)을 이용하였고, 각각에 대한 압력특성계수는 Table 3에 제시되어 있다.
- 87m, 6이이다. 클린룸은 세 영역으로 나누어진 것으로 가정하였고, 이후 결과논의의 편의를 위하여 각각의 영역에서 유출구를 1, 2로 구분하여 표기하였다. 압력강하의 원인이 되는 ULPA 필터, 패널(panel), 화학필터(chemical filter), 소 음기(silencer), 냉각코일의 위치는 Fig.
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