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2축 마이크로 플럭스게이트 센서 제작을 통한 전자 나침반 개발
Development of Electronic Compass Using 2-Axis Micro Fluxgate Sensor 원문보기

전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문, v.52 no.9, 2003년, pp.418 - 423  

박해석 (삼성종합기술원, MEMS Lab.) ,  심동식 (삼성종합기술원, MEMS Lab.) ,  나경원 (삼성종합기술원, MEMS Lab.) ,  황준식 (삼성종합기술원, MEMS Lab.) ,  최상언 (삼성종합기술원, MEMS Lab.)

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This paper describes an electronic compass using micromachined X- and Y-axis micro fluxgate sensors which were perpendicularly aligned each other to measure X- and Y-axis magnetic fields respectively. The fluxgate sensor was composed of rectangular-ring shaped magnetic core and solenoid excitation(4...

주제어

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문제 정의

  • 본 논문에서는 마이크로머시닝 기술을 이용하여 제작된 폐자로를 형성하는 자성 코아와 이를 감고 있는 솔레노이드 형상의 여자코일 및 검출코일을 포함한 플럭스게이트 센서의 제작 방법, 자계검출특성에 관하여 논하였다. 특히, 평면상에서 직각으로 배열되어 제작된 2개의 플럭스게이트 센서를 통해미약자계의 방향을 검출할 수 있으므로, 이를 통한 전자 나침반으로의 적용에 대하여 논하였다.
  • 자계검출특성에 관하여 논하였다. 특히, 평면상에서 직각으로 배열되어 제작된 2개의 플럭스게이트 센서를 통해미약자계의 방향을 검출할 수 있으므로, 이를 통한 전자 나침반으로의 적용에 대하여 논하였다.
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참고문헌 (17)

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  2. F. Primdahl, 'The fluxgate mechanism', IEEE Trans. on Magnetics, Vol. 6, p. 376, 1970 

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  4. F. Primdahl and R. Coles, 'A bibliography of magnetometers', Appendix 1. Proc. Int. Workshop on Magnetic Observatory Instruments, Ottawa, Canada, July 30-Aug. 9, 1986 

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  10. S. Choi, S. Kawahito, K. Takahashi, Y. Matsumato, M. Ishida and Y. Tadokoro, 'A planar flusgate magnetic sensor for on-chip integration', Sensors and Materials, Vol. 9, No. 4, p. 241, 1997 

  11. T. Liakopoulos and C. Ahn, 'A micro-fluxgate magnetic sensor using micromachined planar solenoid coils', Sensors and Actuators, Vol. 77, p. 66, 1999 

  12. P. Ripka, S. Choi, S. Kawahito, A. Tipek and M. Ishida, 'Micro-fluxgate sensor with double sided core', EMSA 2000(Third European Conference on Magnetic Sensors and Actuators), Dresden, p. 167, 2000 

  13. O. Dezuari, E. Belloy, S. Gilbert and M. Gijs, 'New hybrid technology for planar fluxgate sensor fabrication', IEEE Transducers on Magnetics, Vol. 35, No. 4, p. 2111, 1999 

  14. O. Dezuari, E. Belloy, S. Gilbert and M. Gijs, 'Printed circuit board integrated fluxgate sensor', Sensors and Actuators, Vol. 81, p. 200, 2000 

  15. Y. Tamura, 'Weak-field magnetic field sensor having etched circuit coils', US Patent No.5936403A, 1999 

  16. 최원열, 황준식, 강명삼, 최상언, '폐자로를 형성한 마이크로 플럭스게이트 자기 센서', Journal of the Microelectronics & Packaging Society, Vol. 9, No. 3, p. 19, 2002 

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