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NTIS 바로가기한국재료학회지 = Korean journal of materials research, v.13 no.9, 2003년, pp.606 - 612
김봉섭 (경남대학교 공동기기센터) , 윤존도 (경남대학교 신소재공학부) , 김종국 (한국기계연구원 박막공정그룹)
Surface and mechanical properties of thin films with submicron thickness was characterized by nanoindentation with Berkovich and Vickers tips, and scanning probe microscopy. Nanoindention was made in a depth range of 15 to 200 nm from the surface by applying tiny force in a range from 150 to
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