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NTIS 바로가기한국반도체장비학회지 = Journal of the Korean Society of Semiconductor Equipment Technology, v.2 no.1, 2003년, pp.25 - 29
노영미 (한국기술교육대학교 대학원 기계공학과) , 임익태 (동경대학교) , 김광선 (한국기술교육대학교 메카트로닉스 공학과)
The fluid flow, mass transfer, heat transfer and film thickness variation during the spin coating process are numerically studied. The model is said to be I-dimensional because radial variations in film thickness, concentration and temperature are ignored. The finite difference method is employed to...
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