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NTIS 바로가기한국반도체장비학회지 = Journal of the Korean Society of Semiconductor Equipment Technology, v.2 no.4, 2003년, pp.23 - 26
경재선 (한양대학교 물리학과) , 오혜근 (한양대학교 물리학과) , 안일신 (한양대학교 물리학과) , 김옥경 (한양대학교 물리학과)
The general users find difficulties in using ellipsometers. Thus, the object of this study is to construct an ellipsometer with simple operation principle. We developed an ellipsometer which does not require alignment and calibration before measuring sample. A basis structure model after rotating a ...
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