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NTIS 바로가기반도체및디스플레이장비학회지 = Journal of the semiconductor & display equipment technology, v.3 no.1, 2004년, pp.31 - 34
방경윤 (한양대학교 과학기술대학 응용물리학과) , 경재선 (한양대학교 과학기술대학 응용물리학과) , 오혜근 (한양대학교 과학기술대학 응용물리학과) , 김옥경 (한양대학교 과학기술대학 응용물리학과) , 안일신 (한양대학교 과학기술대학 응용물리학과)
We develop Mueller-matrix spectroscopic ellipsometry based on dual compensator configuration. This technique is very powerful for measuring surface anisotropy in nano-scale, especially when materials show depolarization. Dual-rotating compensator configuration is adopted with the rotational ratio of...
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