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NTIS 바로가기한국반도체장비학회지 = Journal of the Korean Society of Semiconductor Equipment Technology, v.2 no.4, 2003년, pp.37 - 40
조남인 (선문대학교 전자정보통신공학부) , 강창민 (선문대학교 전자정보통신공학부)
We have studied micro-machining technologies to fabricate parts and sensors used in the semiconductor equipment. The studies were based on the silicon integrated circuit processes, and composed of the anisotropic etching of single crystal silicon to fabricate a membrane structure for hot and cold ju...
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