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초록
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산에 민감한 작용기를 갖는 tert-butyl methacrylate(tBMA)와 산 증식 기능을 갖는 4-hydroxy-4''p-styrenesulfonyloxyisopropylidene dicyclohexane(HSI)과 4-p-styrenesulfonyloxy-4''-tosyloxyisopropylidene dicyclohexane (STI)를 둘 다 함께 갖고 있는 공중합체를 새로운 고분자 산증식형 포토레지스트로 합성하였다. 산증식형 공중합체인 Poly(HSI-co-tBMA) film과 Poly(STI-co-tBMA) film은 산의 부재 시에는 레지스트 공정 온도에 대하여 충분한 열적 안정성을 나타내었다. Poly(STI-co-tBMA) film의 감도는 tBMA homopolymer에 비교하여 2배 정도 증진되었지만, Poly(HSI-co-tBMA) film은 오히려 2배 정도 감도가 저하되는 결과를 나타내었다. 고분자에 도입한 이러한 산증식 기능을 갖는 그룹의 구조에 따라 광감도 증진 효과가 다르게 나타남을 확인하였다.

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

Acid amplifying copolymers are synthesized by the copolymerization of tert-butyl methacrylate(tBMA) with acid-sensitive functional group and 4-hydroxy-4'p-styrenesufonyloxyisopropylidene dicyclohexane(HSI) or 4-p-styrenesulfonyloxy-4'-tosyloxyisopropylidenedicyclohexane(STI) with acid-amplifying gro...

주제어

AI 본문요약
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제안 방법

  • 35, 40 그리고 45°C에서의 초임계 이산화탄소에 대한 이부프로펜의 용해도를 측정하였다. 본 실험을 통해 얻어 진 자료를 토대로 각 온도에 대한 solubility-pressure 선도를 Fig.
  • Variable volume view cell°| 장착되 어 있는 고압 장치를 이용하여 초임계 이산화탄소에서의 이부프로펜의용해도를 처 음으로 측정 하였다. 이부프로펜의 용해도를 측정 하기 앞서 나프탈렌으로 variable volume view cell 장치의 신뢰성을 테스트하였다.
  • 본 연구에서는 static method를 사용하여 초임계 유체에서의 이부프로펜 용해도를 측정하였고 variable volume view cell을 이용하여 cloud point를 관즉하는 방법으로 용해도를 알아 보았다. 35,40와45°C에서의 이부프로펜의 용해도를 측정하였으며, 측정된 실험값은 Peng-Robinson equation of state로 모델 링 하였다.
  • Cell 내부를 육안으로 관찰하기 위하여 sapphire window를 설치 하였다. 압력은 Sensotec사의 최대오차 ±0.2 MPa의 압력계를 사용하였고, 온도는 cell 내부로 연결한 thermocouple로 측정하였다. Cell 내부온도는 cell에 장착된 jacket에 온도가 조정된 열 매체를 순환시키면서 유지하였다.
  • 용해도 장치의 신뢰성을 확보하기 위해 35”C에서 이산화탄소에 대한 나프탈렌의 용해도를 측정하였다. 실험 결과는 Fig.
  • 기존 발표된 실험 용해도 값과 비교하였을 때 거의 일치하여 본 장치가 용해도를 측정하기 적절함을 확인할 수 있었다. 이 실험을 바탕으로 35, 40 그리고 45℃에서의 이부프로펜의 용해도를 측정하였다. 측정된 값은 Lydersen, Ambrose과 Joback의 group contribution methods.
  • Variable volume view cell°| 장착되 어 있는 고압 장치를 이용하여 초임계 이산화탄소에서의 이부프로펜의용해도를 처 음으로 측정 하였다. 이부프로펜의 용해도를 측정 하기 앞서 나프탈렌으로 variable volume view cell 장치의 신뢰성을 테스트하였다. 기존 발표된 실험 용해도 값과 비교하였을 때 거의 일치하여 본 장치가 용해도를 측정하기 적절함을 확인할 수 있었다.

대상 데이터

  • 999%의 것을 사용하였다. 나프탈렌 (Aldrich)과 이부프로펜 (HUBE Biocause Heilen pharmaceutical co., LTD)은 더 이상의정 제과정 없이 사용하였다.
  • 실험에 사용된 장치의 핵심적인 부분은 variable volume view cell로 실린더 모양의 고압용기이다. Cell 안에는 내부의 부피를 변화시키기 위한 piston이 설치되어 시료의 조성변화 없이 cell내부의 부피를 감소시켜 cell의 압력을 상승시키는 역할을 한다.
  • 이산화탄소는 협신가스에서 공급한 99.999%의 것을 사용하였다. 나프탈렌 (Aldrich)과 이부프로펜 (HUBE Biocause Heilen pharmaceutical co.

데이터처리

  • 용해도 장치의 신뢰성을 확보하기 위해 35”C에서 이산화탄소에 대한 나프탈렌의 용해도를 측정하였다. 실험 결과는 Fig. 3에 McHugh와 Paulaitis, Pauchons의 실험결과값과 비교하였다. 그림에서 보듯이 그 결과가 거의 일치함을 확인할 수 있었다.

이론/모형

  • 본 연구에서는 static method를 사용하여 초임계 유체에서의 이부프로펜 용해도를 측정하였고 variable volume view cell을 이용하여 cloud point를 관즉하는 방법으로 용해도를 알아 보았다. 35,40와45°C에서의 이부프로펜의 용해도를 측정하였으며, 측정된 실험값은 Peng-Robinson equation of state로 모델 링 하였다. 이 부 프로펜의 물리적 특성은 Lydersen, Ambrose 그리고 Joback의 group contribution method를 사용하여 구한 값을 사용하였다.
  • 35,40와45°C에서의 이부프로펜의 용해도를 측정하였으며, 측정된 실험값은 Peng-Robinson equation of state로 모델 링 하였다. 이 부 프로펜의 물리적 특성은 Lydersen, Ambrose 그리고 Joback의 group contribution method를 사용하여 구한 값을 사용하였다.
  • 초임계 이산화탄소에 대한 이부프로펜의 용해도 결과를 Peng-Robinson EOS로 모델링 하였다. 스](1)에서 보듯이 초임계 유체에 대한 용질의 용해도는 압력과 온도의 함수로 표현된다.
  • 이 실험을 바탕으로 35, 40 그리고 45℃에서의 이부프로펜의 용해도를 측정하였다. 측정된 값은 Lydersen, Ambrose과 Joback의 group contribution methods. 구한 이부프로펜의 물리 적 특성 값을 사용하여 PR-EOS에 의 해 모델 링되었으며 실험값과 모델링 한 값이 잘 일치함을 확인하였다.
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참고문헌 (13)

  1. Park, S. W.; Arimitsu, K.; Lee, S. G.; Ichimura, K. Chem Lett. 2000, 1036. 

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  9. Ito, H.; Ichimura, K. Macromol. Chem. Phys, 2001, 132, 201. 

  10. Arimitsu, K.; Ichimura, K. Macromol. Chem. Phys. 2001, 453. 

  11. Arimitsu, K.; Kudo, K.; Ichimura, K. J. Am. Chem. Soc, 1998, 37, 120. 

  12. Feit, B.; Halak, B. J. Polym, Sci, 2002, 2171. 

  13. Hsieh, G. W.; Hsieh, Y. S.; Yang, C. R.; Lee, Y. D. Microsyst Technol, 2002, 8, 326. 

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