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NTIS 바로가기大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers. A. A, v.28 no.1 = no.220, 2004년, pp.85 - 91
신귀수 (전북대학교 기계공학부) , 황성원 (전북대학교 기계공학부) , 서남섭 (전북대학교 기계공학부) , 김근주 (전북대학교 기계공학부)
The sapphire wafers for blue light emitting devices were manufactured by the implementation of the surface machining technology based on micro-tribology. This process has been performed by chemical and mechanical polishing process. The sapphire crystalline wafers were characterized by double crystal...
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