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NTIS 바로가기한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.22 no.12 = no.177, 2005년, pp.184 - 189
김재구 (한국기계연구원 나노공정장비연구센터) , 장원석 (한국기계연구원 나노공정장비연구센터) , 조성학 (한국기계연구원 나노공정장비연구센터) , 황경현 (한국기계연구원 나노공정장비연구센터) , 나석주 (한국과학기술원 기계공학과)
An experimental study of the femtosecond laser machining of Si materials was carried out. Direct laser machining of the materials for the feature size of a few micron scale has the advantage of low cost and simple process comparing to the semiconductor process, E-beam lithography, ECM and other mach...
Madow, M. J., 'Fundamentals of microfabrication,' 2nd ed. CRC Press, 2001
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Schaffer, C. B., 'Interaction of femtosecond laser pulse with transparent materials,' Ph.D. thesis, Harvard University, 2001
Barsch, N., Korber, K., Ostendorf, A., Tonshoff, K. H., 'Ablation and cutting of planar silicon devices using femtosecond laser pulses,' Appl. Phys. A 77, pp. 237-242, 2003
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