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NTIS 바로가기신뢰성응용연구 = Journal of the applied reliability, v.5 no.4 = no.12, 2005년, pp.487 - 500
이영규 (삼성전기 중앙연구소) , 박부희 (아주대학교 산업공학과) , 장중순 (아주대학교 산업공학과)
MEMS devices usually have micro actuators contained in a cavity, If the pressure level of testing chamber is higher than that of cavity, moisture will ingress into the cavity, which may cause critical failure such as stiction of the moving parts. To design an accelerated life test based on high temp...
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