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글로우방전 질량분석법을 이용한 구리 박막내의 미량불순물 분석: 음의 기판 바이어스에 의한 불순물원소의 농도변화
Trace impurity analysis of Cu films using GDMS: concentration change of impurities by applying negative substrate bias voltage 원문보기

韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, v.14 no.1, 2005년, pp.17 - 23  

임재원 (동북대학 다원물질과학연구소)

초록
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본 논문은 글로우방전 질량분석법(Glow Discharge Mass Spectrometry: GDMS)을 이용하여 구리 박막내의 미량 불순물의 농도분석과 음의 기판 바이어스에 대한 구리 박막내의 불순물의 농도변화에 대해서 고찰하였다. 구리 박막은 실리콘 기판 위에 비질량 분리형 이온빔 증착장비를 이용하여 기판 바이어스를 걸지 않은 경우와 -50 V의 기판 바이어스를 걸은 상태에서 증착하였다. 전기를 통하지 않는 분석 샘플의 경우, 직류(DC) GDMS에 의한 분석시, 샘플 표면에서의 charge-up 효과에 의해 분석에 어려움이 있었지만, 본 실험에서는 간편하게 분석이 가능하도록 샘플을 알루미늄 포일(foil)로 감싸서 구리 박막으로부터 실리콘 기판 뒤의 샘플 홀더까지 전기적 접촉이 이루어지도록 하였다. 구리 타겟과 증착된 구리 박막들에 대한 GDMS 분석결과에 의해서, 전체적으로 박막내의 불순물의 양이 음의 기판 바이어스에 의해 줄어듦으로써 구리 박막의 전체 순도를 높일 수 있다는 것을 알게 되었다. 음의 기판 바이어스에 의한 불순물들의 농도변화는 각각의 불순물의 이온화 포텐셜의 차이에 의한 것으로, 박막 증착시 플라즈마내의 Penning ionization effect와 본 논문에서 제시한 이온화 과정에 의해 각 불순물의 농도변화가 설명되어질 수 있었다. 또한, 기판 위에서의 구리 이온들의 충격에 의한 cleaning effect도 박막내의 불순물의 농도변화에 기여했다고 판단된다.

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

Glow discharge mass spectrometry(GDMS) was used to determine the impurity concentrations of the deposited Cu films and the 6N Cu target. Cu films were deposited on Si (100) substrates at zero substrate bias voltage and a substrate bias voltage of -50 V using a non-mass separated ion beam deposition ...

주제어

#이온빔 증착   #구리   #불순물   #기판 바이어스   #글로우방전 질량분석  

참고문헌 (17)

  1. C. A. Chang and C. K. Hu, Appl. Phys. Lett. 57, 617 (1990) 

    상세보기 crossref

  2. M. O'Reilly, X. Jiang, J. T. Beechinor, S. Lynch, C. Ni Dheasuna, J. C. Patterson, and G. M. Grean, Appl. Surf. Sci. 91, 152 (1995) 

    상세보기 crossref

  3. M. Van Straaten, K. Swenters, R. Gijbels, J. Verlinden, and E. Adriaenssens, J. Anal. At. Spectrom. 9, 1389 (1994) 

    상세보기 crossref

  4. J. S. Becker and H. -J. Dietze, Spectrochim. Acta B 53, 1475 (1998) 

    상세보기 crossref

  5. R. K. Marcus, J. Anal. At. Spectrom. 8, 935 (1993) 

    상세보기 crossref

  6. T. E. Gibeau and R. K. Marcus, J. Anal. At. Spectrum. 13, 1303 (1998) 

    상세보기 crossref

  7. D. M. Wayne, R. K. Schulze, C. Maggiore, D. W. Cooke, and G. Havrilla, Appl. Spectrosc. 53, 266 (1999) 

    상세보기 crossref

  8. W. Schelles and R. V. Grieken, J. Anal. At. Spectorm. 12, 49 (1997) 

    상세보기 crossref

  9. C. Lazik and R. K. Marcus, Spectrochimica Acta. 48B, 1673 (1993) 

  10. 임재원, 배준우, Minoru Isshiki, 한국진공학회지 12, 174 (2003) 

    원문보기 상세보기

  11. 임재원, Minoru Isshiki, 한국진공학회지 12, 136 (2003) 

    원문보기 상세보기

  12. W. Vieth and J. C. Huneke, Spcetrochimica Acta. 46B, 137 (1991) 

  13. P. Gregory, A. J. Bangay, and T. L. Bird, Metallurgia 71, 207 (1965) 

  14. J. W. Coburn and E. Kay, Appl. Phys. Lett. 18, 435 (1971) 

    상세보기 crossref

  15. E. E. Muschlitz, Science 159, 599 (1968) 

    상세보기 crossref

  16. D. R. Lide, Handbook of Chemistry and Physics (New York CRC press) pp. 10-207 

  17. T. Takagi, Thin Solid Films 92, 1 (1982) 

    상세보기 crossref

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