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연성회로기판에 실장된 실리콘 기반의 유연 촉각센서 어레이 제작 및 평가
Development of silicon based flexible tactile sensor array mounted on flexible PCB 원문보기

센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society, v.15 no.4, 2006년, pp.277 - 283  

김건년 (전자부품연구원 나노메카트로닉스 연구센터) ,  김용국 (고려대학교 전자공학과) ,  이강열 (전자부품연구원 나노메카트로닉스 연구센터) ,  조우성 (고려대학교 전자공학과) ,  이대성 (전자부품연구원 나노메카트로닉스 연구센터) ,  조남규 (전자부품연구원 나노메카트로닉스 연구센터) ,  김원효 (전자부품연구원 나노메카트로닉스 연구센터) ,  박정호 (고려대학교 전기전자전파공학부) ,  김수원 (고려대학교 전자공학과) ,  주병권 (고려대학교 전기전자전파공학부)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

We presented that fabrication process and characteristics of 3 axes flexible tactile sensor available for normal and shear force fabricated using Si micromachining and packaging technologies. The fabrication processes for 3 axes flexible tactile sensor were classified in the fabrication of sensor ch...

주제어

#flexible tactile sensor   #FPCB   #normal and shear force   #package  

AI 본문요약
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* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

문제 정의

  • 본 연구에서는 실리콘 기반의 단축 및 3축의 유연한 촉각센서를 제안하고 이를 MEMS 공정과 FPCB 기관 실장 기술을 통하여 구현하였다. 센서 모듈은 4x4개의 단위 센서 배열로 구성되어 있고 센서의 공간분해능은 2 mm 수준이다.

가설 설정

  • 5.(a) Images of tactile sensor estimation system used for characterization of fabricated sensor, (b) Breakdown force of diaphragm showed using tactile sensor estimation system.
  • 즉 z축으로 인가하는 응력의 경우 네 개 저항체들의 저항변화량을 합하면 구할 수 있다. 또한 x축으로 인가하는 응력의 경우는 S1과 S3의 저항은 변화가 없다고 가정하고 S2와 S4의 저항변화량차이로 그리고 y축으로 인가하는 응력의 경우는 마찬가지로 S1과 S3의 저항변화량 차이로 구할 수 있다.
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참고문헌 (6)

  1. D. J. Beebe, D. D. Denton, R. G Radwin, and J. G Webster, 'A silicon-based tactile sensor for fingermounted applications', IEEE Trans. Biomed. Eng., vol. 45, no. 2, pp. 151-159, 1998 

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  2. M. H. Lee and H. R. Nicholls, 'Tactile sensing for mechatronics-a state of the art survey', Mechatronics, vol. 9, pp. 1-33, 1999 

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  3. L. Wang and D. J. Beebe, 'A silicon-based shear force sensor: Development and characterization', Sens. Actuat. A, vol. 84, pp. 33-44, 2000 

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  4. T. Mei, W. J. Li, Y. Ge, Y. Chen, L. Ni, and M. H. Chan, 'An integrated MEMS three-dimensional tactile sensor with large force range', Sens. Actuat. A, vol. 80, pp. 155-162, 2000 

    상세보기 crossref

  5. L. Wang and D. J. Beebe, 'Characterization of a silicon-based shear-force sensor on human subjects', IEEE Trans. Biomed. Eng., vol. 49, pp. 1340-1347, 2002 

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  6. M. Leineweber, G. Pelz, M. Schmidt, H. Kappert, and G. Zimmer, 'New tactile sensor chip with silicone rubber cover', Sens. Actuat. A, vol. 84, pp. 236-245, 2000 

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